공정의 극자외선(EUV) 광원용 소재 > 자유게시판

국내 반도체 및 이차전지 소재 기업인켐트로스가 초미세 반도체 공정의 극자외선(EUV) 광원용 소재 양산을 추진한다.

켐트로스는 올해 상반기까지 관련 제조시설 투자를 마치고 하반기부터 국내 고객사에 본격적인 공급을 진행하는 계약을 체결했다고 13일 밝혔다.

해당 소재는 극자외선 포토레지스트 전용.

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